凈化車間內(nèi)的塵源主要來自生產(chǎn)工藝設備運轉(zhuǎn)中發(fā)塵、產(chǎn)品和材料運送過程中發(fā)塵、凈化車間建筑內(nèi)表面等的發(fā)塵和人員產(chǎn)塵。來自生產(chǎn)設備運轉(zhuǎn)中的塵粒有的可通過局部排風裝置排除。按凈化車間的管理規(guī)定，產(chǎn)品和材料均應進行清潔，其在運送過程中的發(fā)塵量與人體發(fā)塵量相比是很少的。凈化車間內(nèi)表面只要嚴格按規(guī)定進行清掃、清潔，其發(fā)塵量也可控制到很少。因此凈化車間的塵源主要來自操作人員的發(fā)塵，即使按規(guī)定對凈化車間人員按“人凈程序”進行了人身凈化，凈化車間內(nèi)人員的產(chǎn)塵仍是主要污染源。在潔凈生產(chǎn)環(huán)境內(nèi)，工作人員的發(fā)塵量多少與其穿著的潔凈工作服種類、形式和材質(zhì)類型有關(guān)，與工作人員在凈化車間內(nèi)的活動、動作的幅度等因素有關(guān)。
凈化車間內(nèi)工作人員所散發(fā)的塵粒也包括口鼻等產(chǎn)生的微粒。曾經(jīng)有學者對吸煙者呼氣所發(fā)出的微粒進行測試和調(diào)查，結(jié)果顯示剛吸煙者的呼氣中0.3～0.5m的微粒濃度較高。進入凈化車間的人員涂抹化妝品也是不適宜的，因其擴散到凈化車間的環(huán)境空氣中，對產(chǎn)品質(zhì)量造成很壞影響。
近年來，在超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)中，隨著高級別凈化車間和微環(huán)境技術(shù)的采用，對一些實際的凈化車間內(nèi)微粒來源的測試表明，人體發(fā)塵量在全部塵源中所占比例有所下降。生物凈化車間（包括制藥工廠、生物制品工廠、食品和化妝品工廠以及醫(yī)院手術(shù)室等）還必須控制人體的發(fā)菌量。為盡量減少生物凈化車間內(nèi)人體的發(fā)菌量應選用合適的潔凈工作服材料和式樣。